近日，毅達(dá)資本完成對(duì)無(wú)錫星微科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“星微科技”）的投資。這也是毅達(dá)資本自2021年首次投資后，對(duì)星微科技實(shí)施的第二輪投資。

星微科技成立于2015年，主要面向半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域提供精密運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品；2017年開(kāi)始晶圓傳輸系統(tǒng)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)研發(fā)；2019年研發(fā)生產(chǎn)晶圓傳輸系統(tǒng)核心產(chǎn)品晶圓傳輸機(jī)械臂；2020年起，公司的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及傳輸系統(tǒng)在半導(dǎo)體量檢測(cè)類、泛半導(dǎo)體精密制造等設(shè)備實(shí)現(xiàn)批量出貨。

“半導(dǎo)體設(shè)備由成千上萬(wàn)的零部件組成，這些零部件的性能、精度，直接影響著設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國(guó)在半導(dǎo)體制造能力上升級(jí)迭代的關(guān)鍵要素?！毙俏⒖萍级麻L(zhǎng)陸敏杰介紹，公司從一開(kāi)始就選擇超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和晶圓傳輸設(shè)備兩大核心產(chǎn)品，助力被“卡脖子”的半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。

其中，晶圓傳輸設(shè)備，用于晶圓在各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備間的傳輸工作，是所有半導(dǎo)體制程、檢測(cè)設(shè)備都必不可少的關(guān)鍵組成部分。星微科技目前已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了核心部件的自主化，隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)替代加速，量產(chǎn)后相對(duì)海外品牌，價(jià)格、交期、服務(wù)等優(yōu)勢(shì)將會(huì)凸顯。

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制系統(tǒng)，是晶圓光刻、缺陷檢測(cè)、芯片封裝等設(shè)備的核心模塊，主要職能是承載晶圓、芯片按照指定的運(yùn)動(dòng)軌跡做高速、高精度定位等一系列極致運(yùn)動(dòng)。相較于海外廠家大多采取的直銷(xiāo)或者代理商模式，星微科技的高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有性價(jià)比更高、支持定制化、交貨周期更短等優(yōu)勢(shì)。

毅達(dá)資本先進(jìn)制造投資事業(yè)部徐杰博士認(rèn)為，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化持續(xù)發(fā)展，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備及零部件企業(yè)業(yè)績(jī)正逆勢(shì)增長(zhǎng)。星微科技作為國(guó)內(nèi)高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和晶圓傳輸設(shè)備提供商，擁有底層設(shè)計(jì)和制造能力，其生產(chǎn)工藝涉及精密機(jī)械制造、工程材料、工程設(shè)計(jì)等多個(gè)領(lǐng)域，能夠與頭部半導(dǎo)體設(shè)備客戶形成高效合作研發(fā)和快速迭代。目前公司多款產(chǎn)品，特別是先進(jìn)制程設(shè)備產(chǎn)品已導(dǎo)入頭部半導(dǎo)體設(shè)備客戶，并形成批量銷(xiāo)售。本輪為毅達(dá)資本對(duì)星微科技的第二次投資，公司持續(xù)看好星微科技的發(fā)展，同時(shí)期待星微科技能夠繼續(xù)完善高端零部件產(chǎn)品布局，加快該領(lǐng)域的進(jìn)口替代。