近日，毅達(dá)資本完成對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備制造商上海眾鴻電子科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“上海眾鴻”）的A輪投資。融資資金將主要用于產(chǎn)品研發(fā)、推進(jìn)設(shè)備量產(chǎn)、業(yè)務(wù)擴(kuò)展及市場(chǎng)營(yíng)銷等方面。

上海眾鴻成立于2011年，是一家半導(dǎo)體制造設(shè)備研發(fā)商，專注于涂膠顯影設(shè)備的研發(fā)攻關(guān)。公司主營(yíng)產(chǎn)品包括自研涂膠顯影設(shè)備、金屬剝離設(shè)備、單片旋轉(zhuǎn)式清洗設(shè)備等，業(yè)務(wù)覆蓋半導(dǎo)體核心設(shè)備的多個(gè)領(lǐng)域，為客戶提供多樣化的解決方案和服務(wù)。截至目前，上海眾鴻擁有各項(xiàng)專利80余項(xiàng)，被評(píng)為“上海市高新技術(shù)企業(yè)”、“上海市專精特新企業(yè)”、“臨港新片區(qū)重點(diǎn)企業(yè)”等。

上海眾鴻位于浦東臨港新片區(qū)

公司創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理金浩天從事半導(dǎo)體集成電路設(shè)備行業(yè)迄今已15年，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)為韓國(guó)、日本、新加坡及中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)半導(dǎo)體制造客戶提供設(shè)備技術(shù)服務(wù)，并將先進(jìn)技術(shù)導(dǎo)入應(yīng)用于實(shí)體技術(shù)升級(jí)。

2018年，上海眾鴻成立自研攻關(guān)小組，基于此前15年的產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)積累，開啟自主研發(fā)涂膠顯影設(shè)備之路。目前其自研設(shè)備已經(jīng)成功通過客戶驗(yàn)證，并成功獲取客戶正式訂單。

上海眾鴻自研涂膠顯影設(shè)備ZHT-200

近年來，為了滿足不同客戶的前道晶圓制造工藝要求，上海眾鴻分別在多樣性、功能性、部件選型等方面進(jìn)行了差異化布局。

首先，功能性方面，眾鴻的自研設(shè)備對(duì)不同尺寸的晶圓做到了友好兼容，如４寸和６寸、６寸和８寸、8寸和12寸兼容；其次，旗下產(chǎn)品的功能對(duì)客戶不同的基底材質(zhì)、不同的產(chǎn)品能做到很好地適配。以設(shè)備最關(guān)鍵的機(jī)械手臂為例，眾鴻就自行開發(fā)、制造，并不斷升級(jí)改良，同時(shí)也申請(qǐng)了不少的專利，可滿足客戶不同工藝需求的晶圓傳送要求。

具體到產(chǎn)品矩陣，上海眾鴻現(xiàn)已推出涂膠顯影設(shè)備ZHT-200、涂膠顯影設(shè)備ZHT-150、全自動(dòng)金屬剝離機(jī)ZHL-200、旋轉(zhuǎn)式清洗設(shè)備ZHS-200等。以ZHT-200為例，通過涂膠顯影單元、烘烤單元等配合，能夠?qū)⑿酒瞥讨行枰木?xì)化圖形在基底材料上顯現(xiàn)出來，同時(shí)具有靈活組合的優(yōu)勢(shì)，可以滿足客戶不同工藝的需求；同時(shí)支持跟光刻機(jī)Inline、KRF工藝匹配，可提供高精度熱板、高精度機(jī)臺(tái)環(huán)境控制、高精度化學(xué)品控溫系統(tǒng)，支持客戶的OHT、EAP、FDC等系統(tǒng)；可完美對(duì)應(yīng)8寸（含8寸以下）的半導(dǎo)體前道制程。ZHT-150產(chǎn)品具備高穩(wěn)定性、高集成度、占地面積小、性能優(yōu)良等特性，對(duì)LED、功率器件等小尺寸產(chǎn)品的客戶非常適配。

千級(jí)潔凈車間設(shè)備打樣測(cè)試

上海眾鴻創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理金浩天表示：“眼下，團(tuán)隊(duì)正在研發(fā)用于先進(jìn)封裝等領(lǐng)域的12寸設(shè)備，以及先進(jìn)制程進(jìn)程中所需要的專用機(jī)型。本次成功融資將有助于眾鴻進(jìn)一步擴(kuò)大市場(chǎng)份額，提升自研產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，同時(shí)也為未來的發(fā)展注入新的活力。我們將以此為契機(jī)，繼續(xù)秉承眾鴻成為‘領(lǐng)先的半導(dǎo)體核心設(shè)備制造商’的經(jīng)營(yíng)理念，為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)?！?/span>

毅達(dá)資本相關(guān)負(fù)責(zé)人表示：“半導(dǎo)體設(shè)備是毅達(dá)資本在半導(dǎo)體領(lǐng)域長(zhǎng)期關(guān)注的賽道之一。上海眾鴻所處的半導(dǎo)體核心工藝設(shè)備領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化替代需求較為強(qiáng)烈。其中，涂膠顯影設(shè)備可應(yīng)用于前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝，因技術(shù)門檻較高，目前國(guó)產(chǎn)化率處于較低水平。在國(guó)內(nèi)晶圓加工產(chǎn)業(yè)越來越蓬勃的形勢(shì)下，該設(shè)備未來市場(chǎng)空間巨大。眾鴻具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)，自研涂膠顯影設(shè)備目前已成功實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，毅達(dá)資本希望未來能夠發(fā)揮產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈優(yōu)勢(shì)，助推眾鴻國(guó)產(chǎn)自研設(shè)備全面打開市場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)更大的突破?！?/span>